技术发明奖

二等奖

集成电路FinFET器件工艺核心技术及重大应用

叶甜春（kaiyun官网入口微电子研究所）

HUILONG ZHU（kaiyun官网入口微电子研究所）

CHAO ZHAO（kaiyun官网入口微电子研究所）

王文武（kaiyun官网入口微电子研究所）

殷华湘（kaiyun官网入口微电子研究所）

罗军（kaiyun官网入口微电子研究所）